反应离子蚀刻相关论文
日本科学技术振兴事业团在世界率先研制成功使用透明氧化物的紫外发光二极管。很久以前,透明氧化物导电体ITO(氧化铟锡)就已实用化,作......
次波长光学元件(SOEs)通常是用光刻法制造的。这类光学元件含有一维或二维形式的阵列结构,这些阵列改变折射或反射光而不产生零以外......
文章简述了光电印制电路板中聚合物光波导层的制作应该遵循的原则,介绍了光波导层的主要成型工艺,包括反应离子蚀刻、平版影印、激光......
简述了光电印制板的工作原理,介绍了光电印制板用光波导材料及聚合物光波导层成型工艺,并简要介绍了光电印制电路板的测试方法。......