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反磁控冷阴极真空规相关论文
一种反磁控冷阴极真空规的脉冲操作模式
冷阴极真空规应用时有较大的抽气作用,而且放电产生的热量和离子溅射对电极表面的污损也使其正常操作受到一定影响。为此,本文设计了......
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