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发光微腔相关论文
基于PECVD工艺的a-SiCx:H发光微腔的研究
以PECVD为制备工艺,a-SiO2:H/a-Si:H为布拉格反射镜多层膜,a-SiCx:H为中间腔体发光材料,制备垂直腔面的发光微腔.文章通过模拟确定......
期刊
发光微腔
布拉格反射镜
等离子体增强型化学气相淀积
microcavity
distributed bragg reflector
PECVD
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