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变刚度测头相关论文

变刚度悬丝支撑微纳测头的结构参数优化与动态特性分析

构造了一种基于悬丝约束支撑的变刚度微纳测头。利用压电装置驱动柔性机构变形,改变悬丝所受的轴向张紧力及横向刚度,进而改变测头......

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悬丝支撑变刚度测头微纳测头参数优化 suspended wire support variable stiffness probe micro-nano

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