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叠层热解法相关论文
叠层热解反应法制备碳化硅薄膜及反应的化学热力学研究
SiC具有很多优异特性,如带隙宽,电导率高,电子饱和漂移速率大,化学稳定性好等。非常适于制作高温、抗辐射、高功率密度、微波、大功率......
学位
薄膜
热处理
碳化硅
化学热力学
叠层反应法
叠层热解法
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