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可变电场调制的原子层沉积相关论文
原子层沉积技术制备氧化锌薄膜及其性能的研究
氧化锌(ZnO)作为第三代半导体材料,由于其禁带宽度大,可以广泛的应用于制造蓝绿光和紫外光的光电器件,同时还具有电子漂移饱和速度......
学位
原子层沉积
可变电场调制的原子层沉积
ZnO薄膜
前驱体源
生长周期
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