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基于CMOS-MEMS技术的双凸台微型热电能量采集器仿真和制备
基于KOH腐蚀工艺设计并制作了双凸台结构的微型热电能量采集器.建立器件的数学模型,分析凸台结构的几何参数对器件输出性能的影响.......
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临时性展台结构安全检查和评估技术
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