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矢量水听器是感知水下声信息的重要设备,基于MEMS微加工工艺研制了一种复合同振型矢量水听器,将MEMS矢量水听器芯片与压电陶瓷环在......
针对目前矢量水声传感器存在的高灵敏度、低频检测以及小型化等问题,提出了一种新型的硅微MEMS矢量水声传感器。利用敏感材料的压阻......
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期刊
介绍一种采用双迭片作为压电敏感元件的同振柱型矢量水听器.描述了该矢量水听器的设计方法,并给出所研制该类型水听器的灵敏度和指......