哈特曼检验法相关论文
在传统哈特曼检验法基础上研制成功一种扫描型哈特曼检测新装置,可对最大口径为φ300 mm的聚焦镜在全口径范围内进行采样测量.该检......
提出了一种用于测量紫外光或深紫外光光斑位置的新方法，并将这种方法同传统的哈特曼检验法结合起来形成了一种测试光刻镜头象质的新......
大口径光学元件是构建现代大型高性能光学装置的基础。大口径光学元件由于其口径大、质量要求高，传统的检测技术和装置已不能满足其......
在大型激光装置中，影响光束质量的主要因素是光路中大口径的光学元件和组件的加工和装校质量。在这些光学元件和组件的加工和装校过......
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