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压电喷墨打印头聚合物喷孔制作工艺研究
描述了一种压电喷墨打印头SU-8光刻胶锥形喷孔的制作方法.该方法基于接近式曝光工艺和键合工艺,首先在PDMS基底上旋涂SU-8光刻胶,......
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SU-8光刻胶
喷墨打印头喷孔板
锥形孔
接近式曝光
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