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PECVD法制备SiO2膜均匀性研究
针对半导体产业对氧化硅薄膜的需求,介绍了采用自制的PECVD设备研究了SiO2薄膜生长的膜厚均匀性分别与喷淋板孔结构和工艺参数之间......
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PECVD
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CBX-3型超声波洗瓶机注水系统的改进
从CBX-3型超声波洗瓶机注水系统所存在的问题入手,作出原因分析及改造方案,并通过数据探讨其改进的效果。......
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新型杀菌机喷淋系统的优化设计
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