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器件层相关论文
SOI材料上紧凑结构波导器件及阵列波导光栅器件的研制
绝缘层上的硅(SOI)材料具有良好的光学和电学特性,成熟的集成电路(IC)制作工艺和设备可以应用或借鉴于SOI平面波导器件的制作中;硅的......
学位
阵列波导光栅
二氧化硅
插入损耗
功率分配器
相位误差
集成光波导器件
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折射率差
光纤端面
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光集成技术概述
本文以光波导集成和光电集成为基础,叙述其基本技术、结构、现状及发展动向。...
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