固定流导法相关论文
气体微流量测量是真空计量学的重要研究方向之一,广泛应用于超高真空规、真空漏孔的校准以及真空泵抽速的测量之中。本文简要介绍了......
为了解决漏率小于10-12Pam3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pam3/s量级的校准装置.装......
本文设计出下限为5×10-16 Pa·m3/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题.采用基于固定流导法基本原理的标准气......
影响固定流导法气体微流量计测量下限的主要因素是真空管道及稳压室内表面放气,本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(NEGP)消除器壁......
总结了材料放气率测试的各种方法:定容法、固定流导法、收集法和称重法。介绍了真空材料放气率测试的原理和方法,阐述了各自的测量范......
为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置......
固定流导法是通过已知流导小孔的气体与真空漏孔流出的气体用四极质谱计进行比较,从而得到漏孔漏率的一种极为精确的方法。小孔是......
固定流导法采用的是分压力测量技术,对质谱分析室的漏放气率的指标要求不高.通过实验得到四极质谱计的非线性引起的测量误差可达38......
在真空材料放气率测试装置上对金属材料的放气特性进行了实验研究,实验采用的方法为静态升压法、固定流导法、双通道气路转换法。......
为了实现在工作现场对氦质谱检漏仪进行全量程漏率示值的校准,设计了一套便携式气体微流量计。该流量计由供气与抽气系统、定容室......
为了精确校准较小漏率真空漏孔,研制了固定流导法真空漏孔校准装置。在漏孔校准过程中,通过调节稳压室中的压力,很容易使标准气体流量......
介绍了固定流导法极小气体流量测量技术,利用流导值为10-9m3/s量级的精密小孔,通过在10-1~10 Pa范围内调节进气压力,实现了10-8~10......
固定流导法采用的是分压力测量技术,对质谱分析室的漏放气率的指标要求不高.通过实验得到四极质谱计的非线性引起的测量误差可......