国产炉相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

国产炉相关论文

在国产炉上研制区熔D101mm硅单晶

高反压、大电流电力电子器件的发展要求FZ硅单晶直径进一步增大.大直径FZ硅单晶的拉制最大困难在于高频加热设备能力和成晶工艺条......

期刊

国产炉 FZ-Si 研制硅单晶 Grower Made in China FZ-Si

国产炉拉制Φ78～85mm无位错区熔硅单晶中“毛剌”产生的机理及消除方法

本文介绍了在国产设备上试制生产Φ>76.2mm无位错区熔硅单晶过程中多次遇到而又必须解决的常见问题之一——“毛刺”问题.着重讨论......

期刊

单晶生长国产炉晶体表面区熔单晶炉固液交界面

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