根据圆平动化学机械研抛(Circular-translational-moving Chemical Mechanical Polishing,CTM-CMP)的运动关系,建立了极坐标下非稳......

根据圆平动化学机械研抛（Circular—translational—moving Chemical Mechanical Polishing，CTM-CMP）的运动关系，建立了极坐标下非稳态......

探讨行星轮式圆平动平面研磨的运动学特点和摩擦学特点．研磨机具有试件相对研具恒速率变向的运动特性,有利于加工各向同性表面．试件......