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圆筒内表面相关论文
等离子体浸没离子注入圆筒内表面的时空尺度
等离子体浸没离子注入与工件外表面的注入不同,存在空间和时间上的尺度.研究结果表明,由于内腔,如内筒的有限尺寸,使注入电压的利......
期刊
时空尺度
等离子体浸没离子注入
尺度效应
圆筒内表面
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Inner surface
Plasma immersion ion implantation
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