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叙述具有同轴对准特性的光学投影物镜双远心结构和均匀照明光学系统原理。为了满足ｉ线光刻所需的光学传递函数要求，讨论了光刻分辨率......
随着空间科学技术飞速发展,太阳敏感器作为卫星姿态测量和控制系统的关键光学敏感器,其性能得到了极大提升。同时,随着观测任务的......
为解决发光二极管(LED)作为朗伯光源难以直接应用的问题,运用非成像光学设计方法,实现了一种新型的基于LED的均匀照明系统,它能够......
