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基体偏压模式相关论文
基体偏压模式对CrN薄膜结构和阻氢性能的影响
为了避免金属材料因为氢扩散而导致的失效,通常在其表面制备氧化物或氮化物等的阻氢薄膜,而薄膜的微观组织、晶体结构等对其阻氢性......
期刊
基体偏压模式
CrN
高功率脉冲磁控溅射
阻氢
高温抗氧化
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