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基片开槽相关论文
基片开槽抑制SAW滤波器体声波的工艺研究
当叉指换能器在基片上激励声表面波模式时,同时伴随着体声波的激励.文章根据叉指换能器的激励原理,采取对压电基片背面开槽抑制叉......
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体波抑制
叉指换能器
声表面波
基片开槽
SAW滤波器
BAW suppression
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