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声敏感结构相关论文

基于SOI压阻式噪声传感器的声学动态特性分析与设计

针对绝缘体上硅(SOI)压阻式噪声传感器的动态测量问题,利用声学特性分析基础进行声学结构设计,以保证噪声传感器的频响特性。设计......

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绝缘体上硅噪声传感器声学动态特性感声膜声敏感结构 silicon on insulator （SOI）noise sensor acoustics dyn

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