复合介质层相关论文
随着可穿戴设备的发展,柔性压力传感器在医疗诊断、机器人制造、电子皮肤等应用领域有很大的应用前景,其中电容式柔性压力传感器具......
本文使用清华大学微电子学研究所自主研发的UHV/CVD系统深入研究了图形外延SiGe工艺,分别选用单一的SiO2介质层和SiO2/Poly-Si复合......
该文给出了Ｅ－Ｂ之间复合介质层Ｌ型侧墙的形成技术。这种工艺技术控制容易，成品率高，均匀性好。已将这种工艺技术应用于双层多晶硅双极晶体......
为了实现亚微米精度的无掩膜刻蚀加工，我们提出了一种基于并行探针驱动的扫描等离子体加工方法。将微放电器与PZT悬臂梁相结合，通过......
采用Ｔａ２Ｏ５／ＳｉＯ２，５ａ２Ｏ５／Ａｌ２Ｏ３复合介质制备出２低压驱动ＺｎＳ：Ｍｎ薄膜电致发光器件，它的阈值电压在４０Ｖ以下。当驱动电压国６０频率为５０Ｈｚ时，发光亮度在３００ｃｄ／ｍ＾２以上，发光层中平均电场强度为１０＾５Ｖ／ｃｍ数......
提出复合介质埋层SOI（compound dielectric buried layer SOI，CDL SOI）高压器件新结构，建立其电场和电势分布的二维解析模型，给出CDLSOI......
为了研究侧壁隔离层对闪存器件可靠性的影响,分别制备了Si_3N_4和SiO_2-Si_3N_4-SiO_2-Si_3N_4(ONON)复合层作为栅侧壁隔离层的45 ......
为提升触觉传感器灵敏度和动态响应特性,基于发泡工艺制备具有良好电学特性和柔性的多孔状石墨烯/炭黑/硅橡胶导电复合材料;将其用......
