复合分子泵相关论文
复合分子泵作为氦质谱检漏仪的重要部件，其自身的几何参数在影响抽气性能的同时，也影响着检漏仪的检测性能。本文基于分子泵抽气基本......
本文以新研制DN63 复合分子泵为对象，通过复合分子泵功能结构分析，建立可靠性模型，开展故障分析，按照整机可靠性指标要求，通过可靠......
本文介绍了一种超高真空大抽速复合分子泵的研制,该型分子泵转子采用了涡轮叶片与螺旋槽式牵引级的复合结构,由整体加工而成。文中......
采用复合分子泵替代油扩散泵进行全玻璃真空太阳集热管排气烘烤抽高真空试验。选用了三种型号分子泵,在集热管自动连续烘烤排气线......
建立了描述复合分子泵牵引级抽气性能的理论模型.依据该理论模型,在牵引级不同螺旋升角、转子-定子间隙、转子转速、被抽气体流动......
以国家重大仪器专项提供的F-60型复合分子泵为原型,建立了转子系统几何模型。基于ANSYS workbench计算软件采用有限元法对其进行模......
复合分子泵是一种应用于高真空和超高真空领域的动量传输式真空泵,具有大抽速、高压缩比、可以获得清洁真空等优点。作为一种高速......
针对高速小型复合分子泵各组成单元潜在的各种故障模式及其对产品功能的影响，提出一种基于FMECA的预防或改进措施。通过分析高速小......
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综述了涡轮分子增压泵的研究现状与进展。涡轮分子增压泵是一种动量传输型真空泵 ,它的出口压力范围可达 10 0 0 Pa,通过计算流体......
分子泵自 1912年诞生以来 ,至今已快近一个世纪了。它在初期进展较缓慢 ,在 1970年以前 ,分子泵的应用还仅限于核物理、电真空、表......
复合分子泵作为获得高真空、超高真空环境的重要设备,在半导体、航空航天、核工业、薄膜制备等领域中得到了广泛应用,各式各样的泵......
复合分子泵结合了涡轮分子泵大抽速、牵引分子泵压缩比高的优点,在很宽压力范围内具有优越的性能,已经成为半导体薄膜制备等领域中......
根据高速小型复合分子泵的特点,建立了复合分子泵可靠性模型,基于专家评分法对其可靠性指标进行了分配,使得各单元分系统的平均故......
本文介绍了涡轮分子泵的优点及普及的原因，讨论了泵轴承系统的改善，泵的工作寿命与可靠性的提高以及宽域型复合分子泵的开发，还给出了......
