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本工作利用扫描电子显微镜和显微硬度及划痕实验较系统地研究了用反应磁控溅射法制备的TiN/CN复合涂层的显微结构特征和力学性能.......
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本文综述了近年来纳米多层膜和复合超硬涂层研究的最新进展,详述了纳米多层膜和复合超硬涂层的致硬机理和设计方法,分析了Ti/TiN、氮......