多孔层厚度相关硕士博士期刊学术论文

摘要：本文主要对P型单晶硅片进行电化学刻蚀，通过改变电流密度和腐蚀时间来控制多孔硅的孔隙度及多孔层厚度。实验结果表明，随着腐......