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温梯法白宝石晶体的表面形貌研究
本文采用导向温梯法 (TGT)生长 [0 0 0 1 ]方向的白宝石晶体 ,利用气相传输平衡 (VTE)技术对晶体表面进行处理 ,发现双面抛光的C面......
期刊
白宝石
温梯法
气相传输平衡
多孔表面
GaN
多孔衬底
多孔衬底上HVPE生长GaN单晶的研究
以GaN为代表的Ⅲ/Ⅴ族化合物半导体由于其出色的性能,在微电子器件和光电器件领域有广泛的应用。然而现阶段GaN基器件大多是异质外......
学位
HVPE
GaN
退火
腐蚀
多孔衬底
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