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多层ES势垒相关论文
单层和多层Ehrlich-Schwoebel势垒对薄膜粗糙度随温度变化的影响
以Cu为原型,利用动力学蒙特卡洛(KMC)方法模拟了在一定的沉积速率下,单层、多层台阶EhrlichSchwoebel(ES)势及温度对成膜质量的影响.结......
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KMC方法
单层ES势垒
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生长温度
粗糙度
Kinetic Monte Carlo method mono-layer Ehrlich-Schwo
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