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多片生长相关论文
MPCVD法制备大尺寸单晶金刚石的仿真与实验研究
被称作“终极半导体材料”的金刚石是目前最具发展前途的半导体材料。然而,由于金刚石尺寸及价格的限制使其很难快速推动金刚石半......
学位
MPCVD
多晶抑制
大面积均匀性
三维生长模型
多片生长
表面形貌预测
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