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多重沟道短路相关论文

槽栅IGBT硅化物自对准技术研究

本文设计了一种全自对准的槽栅IGBT(绝缘栅双极晶体管)结构,其工艺简单,全套工艺只有两张光刻版,是现有IGBT工艺中最少的,而且两次......

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IGBT 槽栅全自对准硅化物多重沟道短路绝缘栅双极晶体管 IGBT trenchgate process fully selfaligned s

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