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大偏角半导体激光器相关论文
大偏角半导体级激光器用砷化镓晶片清洗方法
采用常规的碱性清洗液清洗大偏角半导体级激光器用砷化镓晶片,外延后会出现几万颗缺陷点。清洗完成后的晶片用X射线光电子能谱(XPS)分......
期刊
大偏角半导体激光器
砷化镓晶片
缺陷点
酸性清洗液
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