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大孔深通道阵列相关论文

利用电化学刻蚀工艺制备p型硅基大孔深通道阵列

在自制的三极电解槽中，采用浓度不同的氢氟酸（HF）电解液在一定掺杂浓度的P型硅基上，研究了大孔深通道阵列的形成过程。通过一系列实验......

期刊

电子物理学电化学刻蚀大孔深通道阵列氢氟酸 p型硅 electrophysics electrochemical etching macropore arr

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