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半导体工厂的大宗气体供应系统为生产线提供高品质的大宗气体,大宗气体广泛应用于大部分工艺设备,且与芯片直接接触,大宗气体稳定......
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对在半导体晶圆代工厂中应用的特种气体及气体的不同特性进行了分类和讨论,进而对特种气体在晶圆厂的主要供应流程及其要点进行了......
本文先从特种气体在半导体晶圆代工厂的应用及气体的不同特性进行了分类和讨论,进而对特种气体在晶圆厂的主要供应流程及其要点进......
