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大气开放式金属有机化学气相沉积相关论文
大气开放式MOCVD氧化镁薄膜的生长及表征
以2,4-乙酰丙酮化镁为前驱体,衬底温度为480℃,采用MOCVD工艺,分别在玻璃、氧化铝陶瓷、单晶Si(111)和Si(100)衬底上生长了取向生长的......
期刊
氧化镁薄膜
大气开放式金属有机化学气相沉积
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MgO thin filmAP-MOCVDX-ray diffractiondiffusion
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