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大面积涂胶相关论文

弯月面涂胶及其胶厚均匀性的测量

为实现大面积基片的均匀涂胶，设计组装了一台小型弯月面涂胶样机，实验了200mm×200mm基片的涂胶。利用白光干涉光谱仪扫描测量了......

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