富硅-氮化硅相关论文
采用热丝化学气相沉积法，以siH4、NH3、N2作为反应气源，通过改变氮气流量来制备富硅一氮化硅薄膜材料。通过傅里叶红外变换谱、紫外-......
太阳能电池发展至今已是第三代,目前关于量子点太阳能电池已经成为了科学研究的热点之一,这是因为量子点本身所具有的量子效应,尤......
采用等离子体增强化学气相沉积技术,以NH3、SiH4和N2为反应气体制备富硅-氮化硅薄膜。在优化了其它沉积参数条件下,研究氨气流量对......
