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对边简支对边自由相关论文

分子力对机电耦合薄膜压力敏感元件振动的影响

本文将薄膜式微谐振压力传感器谐振子简化为对边简支对边自由机电耦合微薄膜谐振系统,给出了考虑分子力作用时微薄膜压力敏感元件......

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对边简支对边自由机电耦合微薄膜 VAN der Waals力 CASIMIR力 MEMS two opposite edges simply support

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