射频无电极放电相关论文
本文报道了一种利用射频无电极放电激励的氮气等离子体新型光源,测出了辐射光谱、光功率、工作气压等光源相关参数,优化实验条件得出......
本文报道了一种利用射频无极放电激励的氮气等离子体新型光源,成功地对“星光”PS版进行了曝光,光谱分析表明氮气射频放电光源的光谱......