射频磁控溅射功率相关硕士博士期刊学术论文

采用射频磁控溅射法在非加热载玻片上制备WO_x薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)......