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射频磁控溅镀法相关论文
Fe掺杂对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜微观结构与电学性质的影响研究
笔者利用射频磁控溅镀法在Pt/SiO2/Si(100)基板上制备出Fe掺杂量分别为0、0.5%、1.0%、2.0%、3.0%及5.0%的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜,并讨论了Fe掺杂含量对......
期刊
Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜
Fe掺杂效应
射频磁控溅镀法
微观结构
电学性质
Ba0.5Sr0.5TiO3 film
Fe doping effect
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