为了模拟薄膜声体波谐振器（FBAR）的电磁场（EM）分布特性，提出了一种新的FBAR建模方法．该方法从基本的一维弹性压电方程和三维麦克斯韦尔方......

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......