射频鞘层相关论文
研究射频辉光放电等离子体中各种粒子运动过程的目的是在于定量理解等离子体参量的时空分布和输运特性的规律,从理论上探求气体放......
近些年来低温等离子体在微电子工业中得到越来越广泛的应用,例如利用等离子体物理气相沉积或化学气相沉积方法可以制备一些光电子......
对于大多数活性射频等离子体刻蚀工艺,由于放电室中两个电极的面积不等,使得两个电极附近的等离子体鞘层是非对称性的.考虑离子与......
一种自洽的理论模型用于研究尘埃颗粒在射频鞘层中垂直方向的非线性共振现象.利用射频鞘层动力学模型,研究了鞘层电场和尘埃颗粒的......
