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提出了用线性真空规测量小孔分子流流导的方法,该方法利用了线性真空规两次测量压力的比值,避免了真空规测量绝对压力引入的不确定......
在真空系统中,流导作为主要性能参数需要精确测量。介绍了升压法测量小孔分子流流导的测量原理、测量方法、计算公式和不确定度的评......
用理论公式与蒙特卡罗方法分别计算了动态流量校准系统和超高/极高真空校准系统中小孔流导的修正系数,比较了2种方法的计算结果。用......