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LED芯片相关专利简介
本发明提供一种LED晶片的制造方法,在其工序上,可以轻易且有效地去除在形成氮化物类半导体层时所使用的蓝宝石基板。本发明的LED晶......
期刊
LED芯片
氮化物
制造方法
晶片
缓冲层
化学蚀刻
体层
蓝宝石
半导
蚀刻工序
基板
构造
发明
层去除
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