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嵌入栅极相关论文
新型环栅MOSFET器件的设计及优化
随着集成电路产业的迅速发展,对半导体器件的性能和尺寸的要求越来越高。到2021年半导体器件的特征尺寸将缩放到5nm,环栅MOSFET由......
学位
环栅MOSFET
亚阈值特性
嵌入栅极
氮化镓
内嵌绝缘层
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