工具轨迹重叠率相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

工具轨迹重叠率相关论文

单晶硅的电解电火花铣削加工工艺研究

提出了一种电解电火花铣削加工半导体硅材料的方法，对单晶硅片进行电解电火花铣削加工实验。在不同电参数和不同铣削轨迹重叠率的条......

期刊

电解电火花加工铣削加工单晶硅工具轨迹重叠率脉冲能量 ECDM milling silicon tool path overlap ratio pulse

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