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三氯氢硅合成中硅粉粒度对流化床流态化的影响
本文阐述了三氯氢硅(英文名称:TRICHLOROSILANE,化学式:SiHCl3,简称TCS)合成中,硅粉粒度大小对流化床流态化的影响。通过计算,对比不同硅粉......
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