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基于多磁极排布的半导体晶圆磁流变平坦化抛光研究
随着集成电路等领域的发展需求迅猛增加,对用于制造芯片的晶圆表面加工质量和精度提出了越来越严格的要求,要求其具有极高的光滑度......
学位
磁流变抛光
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季冻区水泥路面预防性养护时机的选择
养护时机的选择对于路面预防性养护至关重要,为了确定最佳的水泥路面预防性养护时机,以美国的MEPDG平整度模型和牛开民-田波平整度......
期刊
季冻区水泥路面
预防性养护
平整度模型
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