平面干涉仪相关论文
光学干涉计量是基于光波叠加原理，分析处理干涉场中亮暗变化的条纹或其灰度变化来获取被测量的有关信息的测量技术。当把被测量......
介绍研制成的一台移相式数字平面干涉仪，其孔径为Φ２４５ｍｍ，用液面作基准标定并消除仪器的系统误差，准确度优于λ／５０（峰谷值，λ＝０．６３２８μｍ）。利用计算机辅助......
为抑制Φ600mm相移式菲佐干涉仪中波长调谐误差以及振动带来的测量误差,提出了一种可用于波长调谐移相干涉仪的误差校正方法。将4......
介绍了一种使用平面干涉仪检测锥体棱镜直角误差的方法。使用这一检测方法时需要制做一个角度为24.4°的夹具,将被测棱镜放置在夹......
为实现方体加工过程中快速准确的测角目的,解决传统测角技术难以适应大批量的方体加工问题,对平面干涉仪测立方体直角方法进行了研......
光干涉测量法是最常用的光学平面面形高精度测量方法，该方法的实质是进行比较测量，即利用双光束干涉的方法将待测平面与参考平面作比......
光学材料的应力影响材料的均匀性以及光学系统的成像质量。在“近红外大口径相移平面干涉仪”项目研制过程中，需要分析大口径光学元......
球面光学元件的曲率半径是其重要的光学结构参数之一。随着大型光学系统如大型望远系统、巨型激光器的发展,使用的长曲率半径球面......
用平面干涉仪测量立方体直角的方法方便快捷,适应于大批量的方体加工。对影响平面干涉仪测立方体直角方法误差影响因素进行了分析,......
介绍一种使用平面干涉仪对立方体直角误差的测量方法。利用激光干涉测量方法具有精度高和灵敏度高的特点,制做一个放置立方体的夹......
