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本文所介绍的平面面形动态干涉仪主要用于解决空间相机成像胶片面不平度的检测,也可用于其它光学平面和非光学平面面形的测试。
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为分析光学平面面形偏差,以直径100mm光学平晶为检测对象,利用斐索干涉仪采集了被测光学平面的波面干涉图,按照美国材料与试验协会(Ame......
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