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平面高压技术相关论文

用掺氧多晶硅钝化技术制造高可靠高压晶体管

论述了SIPOS钝化的原理、生产SIPOS晶体管的工艺步骤,以及在制造过程中易出现的问题和解决方法.......

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SIPOS 掺氧多晶硅平面高压技术高压晶体管 SIPOS semiinsulating polycystallinesilicon planar high

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