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应变反馈控制相关论文
用于原子力显微镜压电扫描器的新型电荷驱动方法研究与应用
在微致动与精密定位领域,压电致动器由于位移分辨率高、输出力大、动态响应好等优点得到了广泛的应用。然而由于压电材料自身的迟......
学位
原子力显微镜
压电致动器
应变反馈控制
电荷控制
镜像驱动
开关电容电荷泵
螺旋线扫描
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